半導體（tǐ）PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養

半導體PS2002/PS2202漢（hàn）鍾螺杆泵維修保養

PS係列（liè）螺杆真空泵（bèng）

定螺（luó）距螺（luó）杆轉子（zǐ）特點：

1、結構（gòu）簡單，故障率低，成本較低，易（yì）維修

2、高壓段功耗相對低，適用於（yú）高（gāo）負載應用場合

3、排氣路徑短，減少（shǎo）反應物沉（chén）積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處（chù）理、太陽（yáng）能產業（yè）、半導（dǎo）體麵板業製程

PS係列螺杆真空泵型號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD係列螺杆真空泵型號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段（duàn）抽速快

能耗可降低（dī）30%以上

氣冷（lěng）馬達機型可搭配自循環冷卻（què）係（xì）統，能使用在無冷卻水的係統環境

可提供符（fú）合ATEX標準的產品

變螺距螺杆轉子特點：

1，運行（háng）溫度低，適用於要求泵（bèng）體表（biǎo）麵及排氣溫度低的場合。                2，運轉功耗低，適用（yòng）於輕負載（zǎi）應用場（chǎng）合，更節能（néng）。                        3，運行（háng）噪音更低（dī），適用於（yú）運（yùn）行噪音低的場（chǎng）合（hé），如：貼合機（jī），無塵室。

4，相同長度轉子，抽氣量更大。適用於（yú）大抽氣量的真空需求。

真空壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鍾PS係列、PD係列維修

維修（xiū）步驟：

1、螺杆泵來料（liào）檢驗，真空（kōng）度、運行時間（jiān）、振動（dòng）值、驅動器、電氣參數（shù）。

2、全（quán）部（bù）拆卸，油汙清潔，打磨。

3 、按（àn）“螺（luó）杆泵維修處（chù）理通知單"更換所必需的零件，如：軸承（chéng）、軸套、套筒、密封圈、齒輪（lún），以確（què）保可靠（kào）的優質服務和泵浦使用壽命。

4、泵（bèng）的平衡，利用平（píng）衡和分析設（shè）備（bèi），調試佳的狀態，以（yǐ）減少（shǎo）噪音、振（zhèn）動，延長軸承壽命。

5、測試檢查，參照原（yuán）廠參數檢測，結（jié）合客人（rén）實（shí）際要求與螺杆泵磨損

PMF半導體幹（gàn）淨係（xì）列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF係列型（xíng）號有PMF100，PMF120，PMF612

半導體PS2002/PS2202漢鍾螺杆泵維修保養（yǎng）