更新時間:2024-07-04
中國台灣(wān)漢(hàn)鍾iPM600螺杆泵維修(xiū)IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛係列 型號有iPM100,iPM600用途:Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant特點:綠(lǜ)色製造(zào)、新係列幹(gàn)式真空泵 體(tǐ)積小、耗功低、大幅(fú)度降低成本(běn) 用於中(zhōng)度嚴(yán)苛製程的節(jiē)能泵
品牌(pái) | 其他品牌 | 輸(shū)送介(jiè)質 | 其他(tā) |
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泵軸(zhóu)位置 | 其他 | 葉輪數目 | 其他 |
應用領域 | 醫療(liáo)衛生,化工,生物(wù)產業(yè),能源,電子 |
中國台灣漢鍾iPM600螺(luó)杆泵維修
IPM半(bàn)導體中(zhōng)度嚴苛係列 型號有(yǒu)iPM100,iPM600
用途(tú):Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點:綠色製造、全新係列幹式真空泵
體積小、耗功低、大幅度(dù)降(jiàng)低成本
用於中度嚴苛製程的節能泵
漢(hàn)鍾PD變距係列幹式螺杆真空泵主要特點:
漢(hàn)鍾螺杆真空泵排氣路徑短,減少反應物沉(chén)積
hanbell幹式螺杆真空泵(bèng)相較於其他形式(shì)的(de)真空泵,因氣體於(yú)泵內(nèi)的傳輸(shū)路徑最(zuì)短,最不易產生反(fǎn)應物沉積的(de)現象。
漢鍾螺杆真空泵線形(xíng)密(mì)封(fēng)性佳,泵(bèng)浦性(xìng)能佳
Hanbell幹式螺(luó)杆真(zhēn)空泵,*轉子密封線(xiàn)形,轉子密封性佳(jiā),轉子能以較大(dà)的齧(niè)合(hé)間隙達到更快的抽氣效果,由於漢(hàn)鍾(zhōng)真空泵的(de)齧合間隙(xì)較大,泵浦較不易(yì)因製程氣體沉積而卡死(sǐ),轉子(zǐ)也較(jiào)不易因磨耗(hào)而需(xū)更換(huàn)。
漢鍾螺(luó)杆(gǎn)真空泵結構簡(jiǎn)單,故障率低,維護容(róng)易
Hanbell幹式螺杆真空泵(bèng)因隻需要(yào)利用一對轉(zhuǎn)子相互齧合達到密封效果,結構上不像其他形式的真空泵需要有中間(jiān)隔板的設計(jì),降低轉(zhuǎn)子與隔板(bǎn)沉積卡死的風險。且因(yīn)其(qí)結構單(dān)純,拆卸維修也比較容易,因(yīn)此能縮短維修(xiū)時程,降低維修費用(yòng)。
漢鍾螺杆真空泵微(wēi)電腦操(cāo)作(zuò),遠端監控,保護周全
Hanbell幹(gàn)式(shì)螺(luó)杆泵微(wēi)電腦控製器提供真空最簡易的操作方式並能顯示真空泵完整(zhěng)的運轉(zhuǎn)狀態(tài),方(fāng)便使用者對泵應用狀態進行調(diào)整,在真空泵產生問題前進行預防保養。遠端監控係統能夠提供使用者方便的監控工具,使用者不需到現場(chǎng)就能夠了(le)解真空泵的(de)運行狀態。
漢鍾螺杆(gǎn)真(zhēn)空泵(bèng)典(diǎn)型應用:
麵板TFT-LCD, Touch Panel
太陽(yáng)能Solar
冶金係(xì)統Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿製程Plasma processes
幹燥(zào)處理Drying Process
製(zhì)程氣體抽取Degassing
生(shēng)技/製藥Biotech/Pharmaceutical
化工產業Chemical Industry
鋰電池Battery
PA油(yóu)螺(luó)杆真空泵型號PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+係列真空泵是一款節能,環保(bǎo)的永磁變頻(pín)微油螺杆真(zhēn)空泵。
高效能
得益於變頻驅(qū)動控(kòng)製(zhì),PA VSD+可提供所(suǒ)需的(de)流量而(ér)不(bú)會過量(liàng),避免浪費能源。新型(xíng)的螺(luó)杆型線設計,性(xìng)能(néng)提升。采用IE4高效永磁電機直(zhí)接驅動,的降(jiàng)低功耗。
中國台灣漢鍾iPM600螺杆泵維修(xiū)