漢鍾PS602螺杆真空泵維修

漢鍾PS602螺杆真空泵維（wéi）修（xiū）

PS係（xì）列螺杆真空泵

定螺距螺杆轉子特（tè）點：

1、結構簡單，故障率低，成本（běn）較低，易維修

2、高壓段功耗（hào）相對低，適（shì）用於高負載應用（yòng）場合

3、排（pái）氣路徑短，減少反應物沉積

適用（yòng）一（yī）般真空鍍膜、烤（kǎo）箱（xiāng）、熱處（chù）理、太陽能產業、半導體麵板業製程

PS係列螺杆真空泵（bèng）型（xíng）號：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD係列螺杆（gǎn）真空泵型號：PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高（gāo）壓段抽（chōu）速快（kuài）能耗可降（jiàng）低30%以上

氣冷馬（mǎ）達機型可搭配自循環冷卻係統，能（néng）使用（yòng）在無冷卻水的係統環境

可提供（gòng）符合ATEX標準的產（chǎn）品（pǐn）

變螺距螺杆（gǎn）轉子（zǐ）特點：

1，運行溫（wēn）度低（dī），適用（yòng）於要求泵體（tǐ）表（biǎo）麵及排氣溫度低（dī）的場合（hé）。                

2，運轉功耗（hào）低（dī），適用（yòng）於（yú）輕負載應用場合，更節能。                        

3，運行噪音（yīn）更低，適用於（yú）運（yùn）行噪音低的場合，如：貼（tiē）合機，無塵室。

4，相（xiàng）同長度（dù）轉子，抽氣量更大（dà）。適（shì）用於大抽氣量的真空需求。

壓力：≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa

漢鍾（zhōng）PS係列、PD係（xì）列維修

維修（xiū）步驟：1、螺杆泵來料檢驗，真空度、運行時間、振動值、驅動器、電（diàn）氣參數。

2、全部拆卸，油汙清（qīng）潔，打磨。

3 、按（àn）“螺杆泵（bèng）維修處理（lǐ）通知單"更（gèng）換所必需（xū）的零件，如：軸承、軸（zhóu）套、套筒、密封圈、齒輪，以確保可靠的優質服務和泵浦使用壽命。

4、泵（bèng）的平衡，利用平（píng）衡和分（fèn）析設備，調試佳的狀態（tài），以減少噪音、振動，延長軸承壽命。

5、測試檢查，參（cān）照（zhào）原廠參數檢測，結合客人（rén）實際要求與螺杆泵磨損

PMF半導（dǎo）體幹淨（jìng）係（xì）列

用途：Semi conductor，Load lock，TFT-LCD，Touch Panel，Solar，Coating，Plasma Process，Drying Process，Degassing

PMF係列型號有（yǒu）PMF100，PMF120，PMF612

特點 Features

    低的電能消耗

          Lowest Power Consumption

    節能模式的應用降低（dī）整（zhěng）體功耗

    Idle saving mode applied to save total power Consumption

    體積小，重（chóng）量輕

    Small size，light weight and easy installation

    節省了安裝空間

    Saving space for installation site

    半導（dǎo）體幹（gàn）淨製程的佳選擇

    Best choice for semiconductor light processes

漢鍾（zhōng）PS602螺杆真空泵維修