真空鍍膜機英福康振蕩器單元配薄膜（mó）控製儀（yí）

真空鍍（dù）膜（mó）機英福（fú）康振（zhèn）蕩（dàng）器單元（yuán）配薄（báo）膜控製（zhì）儀

IC6 薄膜（mó）沉積控製器在 INFICON 薄膜沉積控製器可靠成熟（shú）的性能基（jī）礎（chǔ）上，增（zēng）添（tiān）了更（gèng）多的功能

，可幫助您實現沉積過（guò）程的大價（jià）值。IC6 使用我（wǒ）們（men）的（de） ModeLock 頻率測量係統（tǒng），提供穩定（dìng）、高分辨

率的速率和厚度測量，速率分（fèn）辨率可達每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行業中的。IC6 具有（yǒu）其

他（tā）石英晶體控製器比擬的性能（néng）、品質和功能，賦予您的過程的可重複（fù）性。

功能

INFICON ModeLock 技術確保獲得高、穩定（dìng）的（de）速率和厚度測量（liàng）分辨率，即使在速率低的情況下（xià）

Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚（hòu）度測（cè）量的精度（dù）

支持zui多六（liù）個來源同時共鍍膜（mó）

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況（kuàng）

100ms 樣本（běn）速率下頻率範圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數據存儲（chǔ）功能可（kě）存儲（chǔ）屏幕截圖、配方（fāng）存儲和數據記（jì）錄

強大的（de） I/O 憑借其靈活性可融入簡單或（huò）複雜的係統（使（shǐ）用可擴展輸入 (28) 和（hé）輸出 (24 繼電器（qì），

14 TTL 輸出)，並充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）

6 個標（biāo）準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸（shū）出（chū）用（yòng）於來源控製、速率或厚度（dù）監（jiān）控（kòng）

可容納多（duō） 50 個過程（chéng），每個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容（róng）納（nà） 10,000 層（céng）。

多路傳感器可平均（jun1）分配為 8 個（gè）傳（chuán）感器

4 米 XIU 選件能夠在大（dà）型係（xì）統中（zhōng）使用較長的真空傳感器電（diàn）纜

可選以太網通（tōng）信

符（fú）合 RoHS 標準（zhǔn）

典型應用（yòng）

光學鍍膜

真空鍍膜機英福康振（zhèn）蕩器單元（yuán）配薄膜（mó）控製儀

鍍