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真空計PTR200N萊寶真空(kōng)泵

更(gèng)新時(shí)間:2024-07-04

簡(jiǎn)要描述:

真空計PTR200N萊寶真(zhēn)空泵PTR 200 N PENNINGVAC 係列真空變(biàn)送器(qì)可(kě)提供從 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴的較大測量範圍(wéi),基於對(duì) MEMS Pirani 矽芯片傳感器上小空腔(qiāng)中的熱傳導性、壓電傳感器中矽(guī)膜的(de)機械偏轉和(hé)冷陰極(jí) (CC) 電離(lí)電流的(de)測量結果(guǒ)。
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器配(pèi)備(bèi) RS232 數字通信(xìn)接口(kǒu),可設定變送器參(cān)數(shù)並提供(gòng)實時(shí)壓力測(cè)量。更

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性(xìng)質(zhì):經(jīng)銷商
  • 產品(pǐn)廠(chǎng)地:東(dōng)莞(wǎn)市
  • 訪問次數:1598
品牌(pái)Leybold/德國萊寶(bǎo)輸送介質其他
泵軸位置其他葉輪數目其(qí)他(tā)
應用領域(yù)醫(yī)療衛生,生物產業,能(néng)源,電子,印刷包裝

真空(kōng)計PTR200N萊寶真空泵(bèng)

 PTR 200 N PENNINGVAC 係列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴(bā)至 1500 毫巴的較大測量範圍,基於對 MEMS Pirani 矽(guī)芯片傳感器上(shàng)小(xiǎo)空(kōng)腔(qiāng)中的熱傳導性(xìng)、壓電傳感器中矽膜的機械偏(piān)轉和冷(lěng)陰極 (CC) 電離電流的測量結果。
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器配備 RS232 數字通信(xìn)接口,可(kě)設(shè)定變(biàn)送器參數並提供實時壓力(lì)測(cè)量。更多詳情,請參閱通信協議 300544663 (RS232)。
每台(tái)變送(sòng)器在出廠前已逐台進行全量程測試。測試報告隨附在包裝(zhuāng)中。此外,每個變送器壓力(lì)讀(dú)數均在(zài)操作溫度(dù)範圍內逐一得到(dào)溫度補償。
變送器擁有(yǒu)三個(gè)機械(xiè)繼電器(qì),這些繼電器可用於過程控製,例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬(nǐ)設備,獲取壓力讀(dú)數,或進行壓力控製。
傳感(gǎn)器技術
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器(qì)含有兩個獨立的傳感(gǎn)器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械(xiè)係統)) 傳感器元件基於熱(rè)傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感(gǎn)器包(bāo)含一個帶有熱電阻元件的矽芯(xīn)片,其構成空腔的一個(gè)表麵。芯片頂部的封蓋形(xíng)成空腔的另一表麵。由於傳感器的幾何形狀,空腔內無法(fǎ)進行(háng)對流(liú),因此(cǐ),傳感(gǎn)器對安裝位(wèi)置並不(bú)敏感。通(tōng)過擴散,氣(qì)體分子(zǐ)隻到達熱元件,在此處可(kě)測量氣體(tǐ)的(de)熱(rè)損耗。
冷陰極反(fǎn)磁(cí)控管采用高電壓(yā)陽極、陰極和永(yǒng)磁體。電子向陽極加速,並將通過(guò)碰撞而使分子離子(zǐ)化。磁場(chǎng)使電子偏(piān)轉,從而使電子在穿(chuān)過(guò)磁場前往(wǎng)陽極時做螺旋形(xíng)移動。這種螺旋運動增(zēng)大(dà)了電子(zǐ)遇到分子(zǐ)並(bìng)使分子離子化(huà)的(de)機會。
分子離子(zǐ)化產生電流,該電(diàn)流是壓力(lì)的函數。這兩(liǎng)個傳感器(qì)元件均極為堅固(gù)耐用,可(kě)承受較高重力和(hé)瞬間空氣湧入。
應(yīng)用
變(biàn)送器可(kě)用(yòng)於眾多不(bú)同領(lǐng)域的真空應用中,如:工業應(yīng)用、研發、半導體、分析和塗料工業中:
 一般真(zhēn)空壓力測量
 氣體回填測量和控製
 塗料
 質譜(pǔ)儀控製
 係統過(guò)程(chéng)控製
 檢測異常壓(yā)力(lì),利用設定點(diǎn)繼電器采取妥當的安全措施
 控製係統壓力(lì)

 

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