iH1800愛德華幹式泵（bèng）維修

iH1800愛德華幹式泵（bèng）維修

iH1800 幹（gàn）式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59040946

技術數據

峰值速度（dù）                 1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                 1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮（dàn）流量                 4 slm

進（jìn）氣口（kǒu）連接（jiē）                 ISO160

出口連接                 NW40

15 psi 壓（yā）降下（xià）典型冷卻水（shuǐ）流量 240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功（gōng）率輸入                 4.1 kW

電機（jī）額定功率                 7.0 kW

油（yóu）容量                         1.6 l

 Edwards 高級半導體真空泵已經（jīng）過現（xiàn）場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過（guò）延長使用壽命、提高運行時間（jiān）並提高生產率，同時大（dà）程（chéng）度地減小占地麵積、降低運（yùn）行成本，實現了（le）高的可（kě）靠（kào）性和性能。
 
iH 係列為（wéi）難以執行的製程（如存在（zài）微粒、易冷凝和（hé）腐蝕性副產品的（de） PECVD 和 LPCVD 製程）提供（gòng）了（le）高可靠性。
應（yīng）用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 製程（chéng）
PVD 預清潔
RTA
剝離（lí）/灰化
刻蝕
植入源（yuán）
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

東莞市鴻鑫（xīn）真空設備有限公司專業維修愛德華幹泵（bèng），愛（ài）德華半導體幹泵，萊（lái）寶幹泵，愛發科幹（gàn）泵，漢鍾幹泵，卡西雅瑪幹泵等幹泵維修

東莞市鴻鑫真空設備有限（xiàn）公司（sī）集生產銷售、安裝設計、維修保養真空設（shè）備、真空氦檢漏儀及通用（yòng）機械設備、精密機械及（jí）自動化（huà）設備等產（chǎn）品的（de）企（qǐ）業。公司（sī）主要銷售及維（wéi）修真（zhēn）空（kōng）泵品（pǐn）牌有（yǒu）：鴻鑫係列單（dān）雙級真空泵、鴻（hóng）鑫螺杆及羅茨真（zhēn）空泵、德（dé）國（guó）LEYB0LD萊寶真（zhēn）空（kōng）泵、德國BUSCH普旭（xù）真空泵、德（dé）國RIETSCHLE裏其樂真空泵、德國BECKER貝（bèi）克真空泵、英國EDWARDS愛德華真空泵、日本ULVAC愛發科真空（kōng）泵、德PFEIFFER普發真空泵、日本ORION好利旺真空（kōng）泵、ATLAS阿*真空泵、美（měi）國AGILENT安捷倫真空泵等進口（kǒu）真空泵及真（zhēn）空係統。銷（xiāo）售真空泵配件：真（zhēn）空泵油、油霧分離器、排氣過（guò）濾（lǜ）器、葉片、碳精片、油過（guò）濾器（qì）、進氣濾芯、空氣總成、散（sàn）熱風扇、風扇（shàn）葉、風扇罩、真空泵油管、油封、軸承（chéng）、軸（zhóu）套、排氣閥、逆止閥、氣鎮閥、視油鏡、密封套件、聯軸器、聯軸器（qì）墊等配件（jiàn）材。                                                 同時公司還經營（yíng）電子材（cái）料：厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充（chōng）膠（jiāo）、COB灌（guàn）封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌（guàn）封（fēng）膠（jiāo）等           

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